Тавре ки ба ҳама маълум аст, тамоюли рушди технологияи моддӣ бо тамоюли рушди технологияи филм дар соҳаи татбиқи поёноб зич алоқаманд аст.Бо такмили технологии маҳсулот ё ҷузъҳои филм дар соҳаи татбиқ, технологияи мақсаднок низ бояд тағир ёбад.Масалан, истеҳсолкунандагони Ic ба наздикӣ ба таҳияи ноқилҳои мисии муқовимати паст тамаркуз карданд, ки интизор меравад, ки филми аслии алюминийро дар чанд соли оянда ба таври назаррас иваз кунад, аз ин рӯ таҳияи ҳадафҳои мис ва ҳадафҳои монеаи зарурии онҳо таъхирнопазир хоҳад буд.
Илова бар ин, дар солҳои охир, дисплейи панели ҳамвор (FPD) асосан найчаи катод-рентгениро (CRT) дар асоси дисплейи компютерӣ ва бозори телевизион иваз кард.Он инчунин талаботи техникӣ ва бозорро ба ҳадафҳои ITO хеле зиёд мекунад.Ва он гоҳ технологияи нигоҳдорӣ вуҷуд дорад.Талабот ба дискҳои сахти зичии баланд, иқтидори калон ва дискҳои тозашавандаи зичии баланд идома дорад.Ҳамаи инҳо боиси тағирёбии талабот ба маводи мақсаднок дар соҳаи татбиқ гардиданд.Дар зер, мо соҳаҳои асосии татбиқи ҳадаф ва тамоюли рушди ҳадафро дар ин соҳаҳо муаррифӣ хоҳем кард.
1. Микроэлектроника
Дар ҳама соҳаҳои татбиқ, саноати нимноқилҳо талаботҳои сахттарини сифатро нисбат ба филмҳои пошхӯрии мақсаднок дорад.Ҳоло пластинҳои кремнийии 12 дюйм (300 эпистаксис) истеҳсол карда шудаанд.Васеъи интерконнект кам шуда истодааст.Талаботи истеҳсолкунандагони вафли кремний ба маводи мавриди ҳадаф миқёси калон, тозагии баланд, сегрегатсияи паст ва донаи ҷарима мебошанд, ки маводи мавриди ҳадафро талаб мекунад, ки микроструктураи беҳтар дошта бошанд.Диаметри зарраҳои кристаллӣ ва якрангии маводи мавриди ҳадаф ҳамчун омилҳои калидӣ, ки ба суръати таҳшиншавии филм таъсир мерасонанд, баррасӣ шуданд.
Дар муқоиса бо алюминий, мис муқовимати баландтари электромобилӣ ва муқовимати камтар дорад, ки метавонад ба талаботи технологияи интиқолдиҳанда дар ноқилҳои субмикронӣ дар зери 0,25um ҷавобгӯ бошад, аммо он мушкилоти дигарро ба бор меорад: қувваи пасти пайвастшавӣ байни мис ва маводи органикӣ.Илова бар ин, реаксия кардан осон аст, ки ин боиси зангзании пайвасти мис ва шикастани схема дар вақти истифодаи чип мегардад.Барои халли ин масъала бояд дар байни мис ва кабати диэлектрик кабати монеа гузошта шавад.
Маводҳои мавриди ҳадаф, ки дар қабати монеаи пайвасти мис истифода мешаванд, Ta, W, TaSi, WSi ва ғайраҳоро дар бар мегиранд. Аммо Ta ва W металлҳои оташ тобовар мебошанд.Сохтани он нисбатан душвор аст ва хӯлаҳо, аз қабили молибден ва хром ҳамчун маводи алтернативӣ омӯхта мешаванд.
2. Барои намоиш
Намоиши панели ҳамвор (FPD) дар тӯли солҳо ба мониторҳои компютерӣ ва телевизионии найчаи катодӣ (CRT) асосёфта таъсири калон расонд ва инчунин технология ва талаботи бозорро ба маводи мавриди ҳадафи ITO афзоиш хоҳад дод.Имрӯз ду намуди ҳадафҳои ITO мавҷуданд.Яке аз ин истифодаи ҳолати нанометрии оксиди индий ва хокаи оксиди қалъа пас аз синтеризатсия аст, дигаре ин аст, ки ҳадафи хӯлаи калъаи индиумро истифода барад.Филми ITO-ро тавассути пошидани реактивии DC ба ҳадафи хӯлаи индиум сохтан мумкин аст, аммо сатҳи ҳадаф оксид мешавад ва ба суръати пошидан таъсир мерасонад ва ба даст овардани ҳадафи хӯлаи андозаи калон душвор аст.
Дар айни замон, усули аввал одатан барои истеҳсоли маводи мавриди ҳадафи ITO қабул карда мешавад, ки он бо реаксияи пошидани магнетронӣ қабати пошидан аст.Он дорои суръати тези ҷойгиркунӣ мебошад.Ғафсии филмро ба таври дақиқ назорат кардан мумкин аст, гузаронанда баланд аст, консентратсияи филм хуб аст ва пайвастшавии субстрат қавӣ аст.Аммо сохтани маводи мавриди ҳадаф душвор аст, зеро оксиди индий ва оксиди калъӣ ба осонӣ якҷоя карда намешаванд.Умуман, ZrO2, Bi2O3 ва CeO ҳамчун иловаҳои синтеризатсия интихоб карда мешаванд ва маводи мавриди ҳадаф бо зичии 93% ~ 98% арзиши назариявӣ ба даст овардан мумкин аст.Иҷрои плёнкаи ITO, ки бо ин роҳ ташаккул ёфтааст, бо иловаҳо робитаи бузург дорад.
Муқовимати бастани филми ITO, ки бо истифода аз чунин маводи мавриди ҳадаф ба даст оварда шудааст, ба 8,1 × 10 н-см мерасад, ки ба муқовимати филми холиси ITO наздик аст.Андозаи FPD ва шишаи гузаронанда хеле калон аст ва паҳнои шишаи гузаронанда ҳатто метавонад ба 3133 мм мерасад.Бо мақсади беҳтар намудани истифодаи маводи мавриди ҳадаф, маводи мақсадноки ITO бо шаклҳои гуногун, ба монанди шакли силиндрӣ, таҳия карда мешаванд.Дар соли 2000 Комиссияи миллии банақшагирии рушд ва Вазорати илм ва технология ҳадафҳои бузурги ITO-ро ба Роҳнамо оид ба самтҳои асосии саноати иттилоотӣ, ки ҳоло барои рушд афзалият доранд, дохил карданд.
3. Истифодаи анбор
Дар робита ба технологияи нигоҳдорӣ, таҳияи дискҳои сахти зичӣ ва иқтидори калон миқдори зиёди маводи филми азимро талаб мекунад.Плёнкаи таркибии бисёрқабатаи CoF~Cu як сохтори васеъ истифодашавандаи филми азими бемайлӣ мебошад.Маводи мақсадноки хӯлаи TbFeCo, ки барои диски магнитӣ лозим аст, ҳоло ҳам дар рушди минбаъда аст.Диски магнитӣ, ки бо TbFeCo истеҳсол шудааст, дорои хусусиятҳои иқтидори зиёди нигоҳдорӣ, мӯҳлати хидматрасонӣ ва тозакунии такрории тамос мебошад.
Хотираи тағирёбии фаза дар асоси теллуриди сурма (PCM) потенсиали назарраси тиҷоратиро нишон дод, як қисми хотираи флешдор ва DRAM ба як технологияи нигоҳдории алтернативӣ табдил меёбад, аммо ҳангоми татбиқи босуръат коҳиш додани яке аз мушкилот дар роҳи мавҷудият ин набудани барқарорсозӣ мебошад. истеҳсоли ҷорӣ метавонад воҳиди пурра мӯҳр минбаъда паст карда шавад.Кам кардани ҷараёни барқароркунӣ масрафи қувваи хотираро кам мекунад, мӯҳлати батареяро дароз мекунад ва маҷрои маълумотро беҳтар мекунад, ҳамаи хусусиятҳои муҳими имрӯзаи дастгоҳҳои истеъмолии ба маълумот мутамарказ ва хеле сайёр.
Вақти фиристодан: 09-09-2022