Дар солҳои охир, бо пешрафти технологияи микросхемаҳои интегралӣ, барномаҳои марбут ба микросхемаҳои интегралӣ босуръат инкишоф ёфтанд.Ҳадафи пошидани хӯлаи алюминийи ултра тозагии баланд, ҳамчун маводи ёрирасон дар истеҳсоли пайвастҳои металлии интегралӣ, дар тадқиқоти охирини ватанӣ як мавзӯи доғ гардид.муҳаррири RSM ба мо хусусиятҳои пошидани хӯлаи алюминийи тозагии баландро нишон медиҳад.
Бо мақсади минбаъд баланд бардоштани самаранокии пошидани ҳадафи пошидани магнетрон ва таъмини сифати плёнкаҳои пошидашуда, шумораи зиёди таҷрибаҳо нишон медиҳанд, ки барои таркиб, микроструктура ва ориентацияи ғаллаи ҳадафи пошидани хӯлаи алюминии ултрабаланди тоза талаботҳои муайян мавҷуданд.
Андозаи дона ва самти донаи ҳадаф ба омодагӣ ва хосиятҳои филмҳои IC таъсири калон мерасонад.Натичахо нишон медиханд, ки дар баробари зиёд шудани хачми дон суръати пошидан кам мешавад;Барои ҳадафи пошидани дорои ҳамон таркиб, суръати пошидани ҳадафи дорои донаҳои хурд назар ба ҳадафи дорои донаи калон тезтар аст;Чӣ қадаре ки андозаи донаи ҳадаф яксон бошад, тақсимоти ғафсии плёнкаҳои гузошташуда ҳамон қадар яксонтар мешавад.
Дар доираи ҳамон асбоби пошидан ва параметрҳои раванд, суръати пошидани ҳадафи хӯлаи Al Cu бо афзоиши зичии атом меафзояд, аммо он умуман дар як диапазон устувор аст.Таъсири андозаи дона ба суръати пошидан аз сабаби тағирёбии зичии атом бо тағирёбии андозаи дона;Меъёри таҳшин асосан аз самти ғаллаи ҳадафи хӯлаи Al Cu таъсир мерасонад.Дар асоси таъмин намудани таносуби (200) хамворихои кристалл, афзоиши таносуби (111), (220) ва (311) хамворихои кристалл суръати пошиданро зиёд мекунад.
Андозаи дона ва самти ғаллаи ҳадафҳои хӯлаи алюминийи ултра баланд асосан тавассути гомогенизатсияи ингот, коркарди гарм ва коркарди дубора кристаллизатсия танзим ва назорат карда мешавад.Бо рушди андозаи вафли то 20,32 см (8 дюйм) ва 30,48 см (12 дюйм) андозаи ҳадаф низ афзоиш меёбад, ки ин талаботҳои баландтарро барои ҳадафҳои пошидани хӯлаи алюминийи ултра-баланд мегузорад.Барои таъмини сифат ва ҳосилнокии филм, параметрҳои коркарди мақсаднок бояд ба таври қатъӣ назорат карда шаванд, то микроструктураи мақсаднок яксон бошад ва ориентацияи ғалладона бояд сохторҳои қавӣ (200) ва (220) дошта бошад.
Вақти фиристодан: июн-30-2022