Тавре ки ҳамаи мо медонем, бухоршавии вакуумӣ ва пошидани ионҳо одатан дар пӯшиши вакуумӣ истифода мешаванд.Фарқи байни қабати бухоршавӣ ва пӯшиши пошидан чӣ гуна аст?Минбаъд коршиносони техникии RSM бо мо мубодила мекунанд.
Пӯшидани бухоршавии вакуумӣ ин гарм кардани маводи бухоршаванда то ҳарорати муайян тавассути гармкунии муқовимат ё шуои электронӣ ва бомбаборони лазерӣ дар муҳити дорои дараҷаи вакууми на камтар аз 10-2Па мебошад, то энергияи ларзиши гармии молекулаҳо ё атомҳо дар мавод аз энергияи пайвастшавии сатҳ зиёданд, ба тавре ки шумораи зиёди молекулаҳо ё атомҳо бухор мешаванд ё сублиматсия мешаванд ва мустақиман дар субстрат боришот мешаванд, то филм ба вуҷуд оранд.Сарпӯши пошидани ион ҳаракати баландсуръати ионҳои мусбатро, ки дар натиҷаи разряди газ дар зери таъсири майдони электрикӣ ба вуҷуд омадаанд, барои бомбаборон кардани ҳадаф ҳамчун катод истифода мебарад, то атомҳо ё молекулаҳои ҳадаф гурезанд ва ба рӯи порчаи коркардшуда боришот ба вуҷуд меоянд. фильми зарурй.
Усули маъмулан истифодашавандаи бухоршавии вакуумӣ гармидиҳии муқовимат мебошад, ки бартариҳои сохтори оддӣ, арзиши паст ва кори қулай дорад;Камбудии он дар он аст, ки он барои металлҳои оташ тобовар ва маводи диэлектрикӣ ба ҳарорати баланд тобовар нест.Гармидиҳии шуои электронӣ ва гармкунии лазерӣ камбудиҳои гармкунии муқовиматро бартараф карда метавонанд.Дар гармкунии шуои электронӣ шуои электронии мутамарказ барои мустақиман гарм кардани маводи бомбабороншуда истифода мешавад ва энергияи кинетикии шуои электрон ба энергияи гармӣ табдил меёбад, ки маводро бухор мекунад.Гармидиҳии лазерӣ ҳамчун манбаи гармидиҳӣ лазери пуриқтидорро истифода мебарад, аммо аз сабаби арзиши баланди лазерии пуриқтидор, он танҳо дар якчанд лабораторияҳои тадқиқотӣ истифода мешавад.
Технологияи пошидан аз технологияи бухоркунии вакуумӣ фарқ мекунад."Паршидан" ба падидае дахл дорад, ки зарраҳои заряднок сатҳи сахтро (ҳадаф) бомбаборон мекунанд ва атомҳо ё молекулаҳои сахтро аз сатҳ берун мекунанд.Аксари зарраҳои партобшуда дар ҳолати атомӣ қарор доранд, ки онро аксар вақт атомҳои пошхӯрда меноманд.Зарраҳои пошидашуда, ки барои бомбаборон кардани ҳадаф истифода мешаванд, метавонанд электронҳо, ионҳо ё зарраҳои бетараф бошанд.Азбаски ионҳоро дар зери майдони электрикӣ барои ба даст овардани энергияи кинетикии зарурӣ суръат бахшидан осон аст, аксарияти онҳо ионҳоро ҳамчун зарраҳои бомбаборон истифода мебаранд.Раванди пошидан ба разряди дурахшанда асос ёфтааст, яъне ионҳои пошидан аз разряди газ ба вуҷуд меоянд.Технологияҳои гуногуни пошидан режимҳои гуногуни партовҳои дурахширо қабул мекунанд.пошидани диод DC разряди дурахши DC-ро истифода мебарад;Триод пошидани разряди дурахшандаест, ки аз ҷониби катоди гарм дастгирӣ мешавад;Пахши РБ разряди дурахши РБ-ро истифода мебарад;Парокандашавии магнетрон разряди дурахшандаест, ки тавассути майдони магнитии ҳалқадор идора мешавад.
Дар муқоиса бо қабати бухоркунии вакуумӣ, қабати пошидан бартариҳои зиёд дорад.Масалан, хар як модда, хусусан элементхо ва пайвастагихоеро, ки гудозиши баланд ва фишори бухори паст доранд, пошидан мумкин аст;Пайвастшавӣ байни филми пошида ва субстрат хуб аст;Зичии баланди филм;Ғафсии филмро назорат кардан мумкин аст ва такроршавандагӣ хуб аст.Камбудй дар он аст, ки тачхизот мураккаб буда, дастгоххои баландвольтро талаб мекунад.
Илова бар ин, омезиши усули бухоршавӣ ва усули пошидани ионпӯшӣ мебошад.Бартарии ин усул дар он аст, ки плёнкаи ба даст овардашуда бо субстрат пайвастагии қавӣ, суръати баланди таҳшин ва зичии баланди филм дорад.
Вақти фиристодан: июл-20-2022