Пӯшидани вакуумӣ ба гарм кардан ва бухор кардани манбаи бухоршавӣ дар вакуум ё пошидан бо бомбаборони босуръати ионҳо ва гузоштани он дар сатҳи субстрат барои ташаккули як қабати якқабата ё бисёрқабата дахл дорад.Принсипи пӯшонидани вакуумӣ чист?Минбаъд муҳаррири RSM онро ба мо муаррифӣ мекунад.
1. Пӯшидани бухоршавии вакуумӣ
Пӯшидани бухоршавӣ талаб мекунад, ки масофаи байни молекулаҳои буғ ё атомҳо аз манбаи бухоршавӣ ва субстрат бояд аз роҳи миёнаи озоди молекулаҳои гази боқимонда дар ҳуҷраи пӯшиш камтар бошад, то молекулаҳои буғи бухоршавй бе бархурд ба сатхи субстрат расида метавонад.Боварӣ ҳосил кунед, ки филм пок ва устувор аст ва бухоршавӣ оксид намешавад.
2. Сарпӯши пошидани вакуумӣ
Дар вакуум хангоми бархурдани ионхои тезонидашуда бо чисмхои сахт аз як тараф кристалл вайрон мешавад, аз тарафи дигар бо атомхое, ки кристаллро ташкил медиханд ва дар охир атом ё молекулахои сатхи чисмхои сахт бархурда мешаванд. ба берун пошидан.Маводи пошидаро дар рӯи замин пӯшонида, плёнкаи тунукро ба вуҷуд меоранд, ки онро пластинкаи вакуумӣ меноманд.Усулҳои зиёди пошидан вуҷуд доранд, ки дар байни онҳо пошидани диод аввалинтаринҳост.Мувофиқи ҳадафҳои гуногуни катод, он метавонад ба ҷараёни мустақим (DC) ва басомади баланд (RF) тақсим карда шавад.Миқдори атомҳое, ки бо таъсири ион ба сатҳи ҳадаф пошида мешаванд, суръати пошидан номида мешавад.Бо суръати баланди пошидан, суръати ташаккули филм зуд аст.Суръати пошидан ба энергия ва намуди ионҳо ва навъи маводи мавриди ҳадаф алоқаманд аст.Умуман, суръати пошидан бо афзоиши энергияи ионҳои инсон меафзояд ва суръати пошидани металлҳои қиматбаҳо баландтар аст.
Вақти фиристодан: июл-14-2022