Бисёре аз корбарон бояд дар бораи маҳсулоти ҳадафи пошхӯрӣ шунида бошанд, аммо принсипи ҳадафи пошидан бояд нисбатан ношинос бошад.Холо мухарририМаводи махсуси бой (RSM) Принсипҳои пошидани магнетрони ҳадафи пошиданро мубодила мекунад.
Дар байни электроди ҳадафи пошида (катод) ва анод майдони магнитии ортогоналӣ ва майдони электрикӣ илова карда мешавад, гази инертии зарурӣ (умуман гази Ar) ба камераи баланди вакууми пур карда мешавад, магнити доимӣ майдони магнитии 250 ~ 350 Гауссро ташкил медиҳад. сатхи маълумоти максаднок ва майдони электромагнитии ортогонали бо майдони электрикии баландшиддат ба вучуд меояд.
Дар зери таъсири майдони электрикӣ гази Ar ба ионҳои мусбат ва электронҳо ионизатсия мешавад.Ба ҳадаф як шиддати баланди манфии муайян илова карда мешавад.Таъсири майдони магнитӣ ба электронҳое, ки аз қутби ҳадаф бароварда мешаванд ва эҳтимолияти ионизатсияи гази корӣ зиёд шуда, дар наздикии катод плазмаи зичии баланд ба вуҷуд меояд.Дар зери таъсири қувваи Лоренц ионҳои Ar ба сатҳи ҳадаф суръат мегиранд ва сатҳи ҳадафро бо суръати хеле баланд бомбаборон мекунанд, Атомҳои пошида дар ҳадаф принсипи табдили импулсро риоя мекунанд ва аз сатҳи ҳадаф ба субстрат бо энергияи кинетикии баланд парвоз мекунанд. ба амонат гузоштани фильмхо.
Парокандашавии магнетрон одатан ба ду намуд тақсим мешавад: пошидани трибутӣ ва пошидани RF.Принсипи пошидани таҷҳизоти пошхӯрӣ оддӣ аст ва суръати он ҳангоми пошидани металл низ тез аст.Парокандаии RF васеъ истифода мешавад.Ба ғайр аз пошидани маводи ноқилӣ, он метавонад инчунин маводи ноқилро пошад.Дар баробари ин барои тайёр кардани материалхои оксидхо, нитридхо, карбидхо ва дигар пайвастагихо пошидани реактивиро низ мегузаронад.Агар басомади РБ зиёд шавад, он ба пошидани плазмаи микроволновка табдил меёбад.Ҳоло одатан резонанси электронии сиклотронӣ (ECR) пошидани плазмаи микромавҷӣ истифода мешавад.
Вақти интишор: май-31-2022