Ҳадафи пошидани хӯлаи титан ва металли титан аз титан иборат аст, бинобар ин маълумот тақрибан якхела аст, аммо фарқияти байни ин ду асосан дар он аст, ки ҳадафи хӯлаи титан аз металли титан бо якчанд роҳ сохта мешавад ва титан дар табиат ҳамчун як металл ба вуҷуд меояд. Титан маъдан. Ҳадафҳои хӯлаи титан мумкин аст ба таври васеъ дар бисёре аз категорияҳои касбӣ истифода бурда мешавад, Ҳоло муаллифи Пекин richmat кард ҷамъбаст якчанд ҳадаф хӯлаи титан умумӣ дар робита ба истифода аз вазъият ба мо дод муқаддимаи муфассал.
.
一、 Ҳадафҳои Ti барои микросхемаҳои интегралӣ
Талабот барои пошидани ҳадафҳои хӯлаи титан байни микросхемаҳои ғайриинтегралӣ ва микросхемаҳои интегралӣ фарқ мекунанд.Дар маҷмӯъ, микросхемаҳои интегралӣ дорои талаботи баландтар ба маълумоти молидани, ба монанди тозагии баландтар, андозаи ғалладона хурдтар ва acuracy.The покии ҳадафҳои титан дар микросхемаҳои интегралӣ бештар аз 99,995% аст, ки баландтар аз он аст, ки дар ғайри интегралӣ истифода бурда мешавад. схемаҳо, ки нишон медиҳад, ки истифодаи гуногуни талаботи ҳадаф титан хеле гуногун аст.
二、 Ҳадафи Ti барои намоиши панели ҳамвор
Ҳадафҳои хӯлаи титан, ки дар дисплейҳои панели ҳамвор истифода мешаванд, дисплейи булӯри моеъ, дисплейи плазма, дисплейи электролюминессенсия ва дисплейи саҳроӣ мебошанд. Плёнкаи тунуки дисплейи ҳамвор усули ташаккули пошида аст, Al, Cu, Ti ва Mo ҳадафҳои асосии пошидани металл барои панели ҳамвор мебошанд. displeys.Тозагии ҳадафҳои хӯлаи титан барои дисплейҳои панели ҳамвор одатан аз 99,9% зиёдтар аст.
三、 Ҳадафҳои Ti барои маводи ороишӣ
Маводи мақсадноки хӯлаи титани тозагии баланд дорои муқовимати аълои зангзании ҳаво аст, истифодаи дарозмуддат дар ҳаво рангро тағир намедиҳад, то ранги аслии титан ва тамоси инсон аллергия ва дигар хусусиятҳои аъло надошта бошад.Аз ин рӯ, титани тозагии баланд низ метавонад ҳамчун маводҳои ороишӣ истифода шавад, дар солҳои охир, ба монанди дастбандҳо, соатҳо ва айнакҳо ва дигар ороишҳо бо тозагии титан ба сатҳи 5N расидааст.
四、 Ҳадафҳои Ti барои системаҳои насосии ултрабаланди вакуумӣ
Ҳамчун металли аз ҷиҳати кимиёвӣ фаъол, титан метавонад бо бисёр элементҳо ва пайвастагиҳо дар ҳарорати баланд реаксия кунад.Ҳадафи хӯлаи титани тозагии баланд дорои қобилияти адсорбсияи қавии газҳои фаъол аст (ба монанди O2, N2, CO, CO2, буғи об аз 650 ° C) ва филми Ti бухоршаванда дар девори насос метавонад сатҳи дорои иҷрои баланди адсорбсияро ташкил диҳад. .Ин амвол медиҳад Ti ба таври васеъ ҳамчун getter дар системаи истихроҷи гази вакууми ултра-баланд истифода бурда мешавад. Агар барои беҳтар намудани насос, насоси ion sputtering ва ғайра истифода бурда мешавад, он метавонад фишори кории ниҳоии насоси ion sputtering то 10-9PA паст кунад.
Вақти фиристодан: апрел-25-2022