Полисиликон як маводи муҳими ҳадафи пошидан аст.Истифодаи усули пошидани магнетрон барои тайёр кардани SiO2 ва дигар филмҳои борик метавонад маводи матритсаро муқовимати беҳтари оптикӣ, диэлектрикӣ ва зангзаниро дошта бошад, ки он дар экрани сенсорӣ, оптикӣ ва дигар соҳаҳо васеъ истифода мешавад.
Раванди рехтани кристаллҳои дароз ин амалӣ кардани устувории самти кремнийи моеъ аз поён ба боло тадриҷан тавассути назорати дақиқи ҳарорати гармкунак дар майдони гарми кӯраи гулобӣ ва паҳншавии гармии маводи изолятсия ва сахтшавии кристаллҳои дароз суръати 0.8 ~ 1.2cm / соат аст.Дар айни замон, дар раванди сахтшавии самт, таъсири ҷудошавии элементҳои металлӣ дар маводи кремний амалӣ карда мешавад, аксари элементҳои металлӣ метавонанд тоза карда шаванд ва сохтори якхелаи донаи кремнийи поликристаллӣ ташкил карда шавад.
Полисиликони рехтагарӣ инчунин бояд дар раванди истеҳсолот қасдан допинг карда шавад, то консентратсияи ифлосҳои аксепторӣ дар обшавии кремний тағир дода шавад.Допанти асосии полисиликони пӯхташуда дар саноат хӯлаи устои бор кремний мебошад, ки дар он миқдори бор тақрибан 0,025% аст.Миқдори допинг аз рӯи муқовимати мақсадноки пласти кремний муайян карда мешавад.Муқовимати оптималии 0,02 ~ 0,05 Ом • см ва консентратсияи мувофиқи бор тақрибан 2 × 1014 см-3 аст. Аммо, коэффисиенти сегрегатсияи бор дар кремний 0,8 аст, ки дар ҷараёни сахтшавии самт таъсири муайяни сегрегатсияро нишон медиҳад. аст, элементи бор дар як градиент дар самти амудии заргар тақсим карда мешавад ва муқовимати муқовимат аз поён ба боло тадриҷан коҳиш меёбад.
Вақти фиристодан: июл-26-2022