Силисиди волфрам
Силисиди волфрам
Силисиди волфрам WSi2 ҳамчун маводи зарбаи барқ дар микроэлектроника, маневр дар симҳои полисиликон, рӯйпӯши зидди оксидшавӣ ва рӯйпӯши сими муқовимат истифода мешавад.Силисиди волфрам ҳамчун маводи тамос дар микроэлектроника бо муқовимати 60-80μΩсм истифода мешавад.Он дар ҳарорати 1000 ° C ташаккул меёбад.Он одатан ҳамчун шунт барои хатҳои полисиликон барои баланд бардоштани гузаронандагии он ва баланд бардоштани суръати сигнал истифода мешавад.Қабати силисиди вольфрамро бо роҳи таҳшин кардани буғи кимиёвӣ, ба монанди таҳшин кардани буғ омода кардан мумкин аст.Ба сифати гази ашьёи хом моносилан ё дихлоросилан ва гексафториди вольфрамро истифода баред.Плёнкаи гузошташуда стехиометрӣ нест ва барои табдил додан ба шакли стехиометрии гузаранда талаб мекунад.
Силисиди волфрам метавонад филми қаблии вольфрамро иваз кунад.Силикиди волфрам инчунин ҳамчун қабати монеа байни кремний ва дигар металлҳо истифода мешавад.
Силисиди волфрам инчунин дар системаҳои микроэлектромеханикӣ хеле арзишманд аст, ки дар байни онҳо силисиди волфрам асосан ҳамчун филми тунук барои истеҳсоли микросхемаҳо истифода мешавад.Бо ин максад, плёнкаи силициди вольфрамро бо истифода аз плазма, масалан, силицид кардан мумкин аст.
| АДАМ | Таркиби химиявӣ | |||||
| Элемент | W | C | P | Fe | S | Si |
| Мундариҷа (вт%) | 76.22 | 0,01 | 0.001 | 0,12 | 0,004 | Мувозинат |
Rich Special Materials дар истеҳсоли ҳадафи пошидан тахассус дорад ва метавонад мувофиқи мушаххасоти муштарӣ маводи пошидани волфрами силиксидиро истеҳсол кунад.Барои маълумоти иловагӣ, лутфан бо мо дар тамос шавед.
